약액 공급장치에서 최종 제품단에 도달하기까지 중요 포인트에 계측기 샘플링 라인을 설치하여 실시간으로 파티클(20nm 이상)을 실측해 공급 품질의 변곡점을 모니터링하는 방식을 말한다.
소재업체 또는 반도체 소재 공급계통에서 투입 소재 및 공급계통 부품 오염 등에서 발생할 수 있는 사고로부터 양산 제품을 보호하고 품질사고를 예방하는 목적으로 활용된다.